Unter Vakuumbedingungen wird das Beschichtungsmaterial erhitzt und durch Verfahren wie Widerstandsheizung und Elektronenstrahlbeschuss verdampft. Dabei lösen sich Moleküle des Beschichtungsmaterials und wandern zur Substratoberfläche, wo sie sich zu einem dünnen Film ablagern.
Falldetails
Photovoltaische Perowskit-Vakuumbeschichtung Unter Vakuumbedingungen wird das Beschichtungsmaterial erhitzt und durch Verfahren wie Widerstandsheizung und Elektronenstrahlbeschuss verdampft. Dabei lösen sich Moleküle des Beschichtungsmaterials und wandern zur Substratoberfläche, wo sie sich zu einem dünnen Film ablagern.
Herausforderungen für die Branche Mehrere Pumpenkonfigurationen erhöhen den Energieverbrauch. Geringer Wirkungsgrad im zweistufigen Betrieb mit 10 Pa und 10⁻⁴ Pa.
Stabile Trägerübertragung. Hohe Anforderungen an die Servosynchronisation bei der Trägerübertragung.
Kostenreduzierung und Effizienzsteigerung im Hauptsteuerungssystem. Hohe Achsenanzahl, Systemkomplexität und hohe Anforderungen an die Anlagenstabilität.
Lösungsmerkmale Optimierter Vakuumbeschichtungsprozess. Der Vakuumübergang erfolgt in drei Stufen: 1000 Pa, 1 Pa und 10⁻⁴ Pa. Die Förderleistung der Roots-Pumpe ist im Bereich von 1000 Pa bis 1 Pa maximal. Dadurch reduziert sich die Anzahl der benötigten Pumpen im Niedervakuumbereich der Anlage, was den Energieverbrauch senkt und Kosten spart.
Der Zwei-in-Eins-Servomotor gewährleistet eine stabile Kraftübertragung. Multifunktionale Servoprodukte helfen Kunden, Platz im Stromverteilerschrank zu sparen, und die integrierte Synchronisierung sorgt für eine stabile Trägerübertragung.
Komplette Systemersetzung im Inland. Die Komplettlösung von Leadsai aus SPS + Servo + Schrittmotor + E/A-Modul senkt die Kosten und erhöht die Effizienz.
Wertrealisierung Die Komplettlösung von Zhongping Motor bietet einen standardisierten Entwicklungsprozess und hilft Kunden so, die Entwicklungszeit zu verkürzen.
Durch eine detaillierte Prozessentwicklung und optimierte Bewegungsalgorithmen wird die Gleichmäßigkeit der Filmdicke um 1 % verbessert.
