Die Messstation überträgt Testsignale vom Messgerät oder Tester über Sonden oder Messkarten an verschiedene Bauelemente auf dem Wafer und erfasst von jedem Bauelement ein Signalrückmeldesignal. Durch die Erfassung dieser Signale lassen sich verschiedene elektrische Eigenschaften des Chips, wie Spannung, Stromstärke und Zeitverhalten, testen.
Falldetails
Sondenstation Die Messstation überträgt Testsignale vom Messgerät oder Tester über Sonden oder Messkarten an verschiedene Bauelemente auf dem Wafer und erfasst von jedem Bauelement ein Signalrückmeldesignal. Durch die Erfassung dieser Signale lassen sich verschiedene elektrische Eigenschaften des Chips, wie Spannung, Stromstärke und Zeitverhalten, testen.
Herausforderungen für die Branche Unzureichende UPH-Effizienz
Steigende Kapazitätsanforderungen erfordern eine kontinuierliche Effizienzoptimierung.
Hoher Sondenverschleiß
Häufige Auf- und Abwärtsbewegungen der Z-Achse verursachen Verschleiß an der Sonde.
Starke Signalstörungen
Kompakte Elektroschränke führen zu starken Störungen.
Lösungsmerkmale Kurze Kommunikationszeit
Bietet bewegungsgesteuerte Befehle vom Typ „Tor“ und reduziert so unnötige Trajektorienzeiten. Der 3-in-1-Befehl verringert die Interaktionszeit zwischen Software und Karte.
Sanfte Bewegung
Impulszyklen im Mikrosekundenbereich gewährleisten gleichmäßigere Impulsfrequenzänderungen. Gleichzeitig unterdrückt der Antrieb Motorjitter im statischen Betrieb und reduziert so den Verschleiß der Sonde.
Geringe Störungen
Der im Laufwerk integrierte Magnetring und das IPM-Anti-Interferenzmodul reduzieren Störungen an der Quelle.
Anpassbare Funktionen
Kundenspezifische Prozesse zur Kantenerkennung und Sonden, um den Kundenbedürfnissen gerecht zu werden.
Realisierter Wert Befehlszeit: 2µs
Kantenerkennungsfunktion: 3 Sekunden pro Zyklus
Benutzerdefinierte Sondenfunktion: Mehrere E/A-ausgelöste Not-Aus-Funktion
